Un piano interferometrico è un disco in vetro con una o con entrambe le superfici perfettamente lucidate e piane.
Viene utilizzato pertanto come riferimento per il controllo di planarità di altre superfici, mettendo a contatto la superficie da controllare con quella del piano interferometrico, si creano delle zone d'aria dove le due superfici non vengono perfettamente a contatto.
Sottoponendo il disco ad una sorgente luminosa, avremo raggi che penetrano nel vetro, lo attraversano e vengono poi riflessi dalla superficie dell'oggetto da controllare.
Il numero di frange d'interferenza percepibile visivamente, quantifica l'errore di planarità del piano da verificare, in quanto ogni linea denota difformità di 0,34µ. (ad es. 3 frange significano che siamo in presenza di un errore di 1µ)